靜電吸盤測(cè)試臺(tái)
一 基本功能：
靜電吸盤的吸附原理主要基于靜電吸附。在沒有等離子體的環(huán)境下，當(dāng)直流電極接通到高壓（低流）直流電源后，電介質(zhì)的表面會(huì)產(chǎn)生極化電荷。對(duì)于庫(kù)侖吸盤（吸盤不同種類中的一種）而言，這會(huì)導(dǎo)致電介質(zhì)表面出現(xiàn)極化電荷。而對(duì)于JR吸盤，除了極化電荷外，還有一部分自由電荷，因?yàn)檫@類吸盤的電介質(zhì)具有一定的導(dǎo)電性。這些表面電荷會(huì)產(chǎn)生電場(chǎng)，該電場(chǎng)進(jìn)一步在置于吸盤之上的晶片表面產(chǎn)生極化電荷，這些電荷的分布與吸盤上的電荷極性相反。當(dāng)晶片背面分布的電荷與吸盤上相反時(shí)，晶片就被吸盤吸附住了。靜電吸盤通過施加外部高壓，利用靜電吸附力或J-R吸附力來固定硅片。這種吸附力使得硅片能夠被穩(wěn)定地固定在吸盤上，以滿足半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的應(yīng)用需求。
為了保證晶圓不與吸盤接觸， 吸盤表面均布氦氣孔， 用于生產(chǎn)氣墊拖住晶圓 ， 使之與電極產(chǎn)生的吸力平衡
二 測(cè)試原理：
靜電吸盤測(cè)試臺(tái)配置不同規(guī)格晶圓尺寸的被動(dòng)吸盤， 吸盤背面預(yù)留對(duì)應(yīng)出氣孔位置的氣體接口， 每個(gè)接口用于連接對(duì)應(yīng)的壓力和流量傳感器， 最多預(yù)留16路接口， 16路的壓力和流量對(duì)應(yīng)顯示在計(jì)算機(jī)上，
被動(dòng)吸盤整體與測(cè)力傳感器連接， 當(dāng)靜電吸盤工作時(shí)， 可以測(cè)試不同電壓下和不同的氣體流量壓力時(shí) ， 實(shí)時(shí)對(duì)外輸出的力， 可以校正不同電壓時(shí)，對(duì)應(yīng)不同的氣體流量，分別輸出的實(shí)際吸力，并且實(shí)時(shí)顯示每一路氣體的壓力流量， 用于校正晶圓整體受力是否均勻。
三 靜電吸盤測(cè)試臺(tái)基本參數(shù)
1. 最大吸附力：500N
2. 力值精度：±0.5%
3. 適配晶圓規(guī)格：10/8/5寸
4. 傳感器壓力范圍：0.1-50torr
5. 傳感器流量范圍：0.1-500sccm
6. 傳感器精度：±1%
7. 傳感器供電：24V
8. 系統(tǒng)耐壓等級(jí)：1000V
9. 外形尺寸：1200*950*1650
10. 整機(jī)功率：2kw
11. 整機(jī)重量：260kg
四 靜電吸盤測(cè)試臺(tái)基本配置：
1. 鋁合金臺(tái)架 一套
2. 大理石臺(tái)面 一套
3. 垂向移動(dòng)滑臺(tái) 一套
4. 吸盤安裝座 一套
5. 被動(dòng)吸盤 一套
6. 氣體轉(zhuǎn)接板 一套
7. 壓力傳感器 16支
8. 流量傳感器 16支
9. 通訊轉(zhuǎn)換器 1臺(tái)（35路）
10. 計(jì)算機(jī)及軟件 一套
11. 隨機(jī)工具 一套
12. 防靜電腳墊 若干
13. 防靜電手環(huán) 2副
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